Introduction aux MEMS - 4PMEIME4

Objectif(s)

Cet enseignement présente les possibilités qu'offre la technologie microélectronique pour la fabrication de systèmes intégrés permettant de combiner des fonctions de capteurs et d'actionneurs avec des fonctions électroniques intelligentes (amplification et traitement du signal, stockage de données pour la calibration, etc.), la réduction des dimensions conduisant au terme de microsystèmes. Différentes familles de microsystèmes sont passées en revue.

Contenu(s)

• Introduction sur les microsystèmes, considérations économiques
• Exemples d'application
o Microsystèmes mécaniques
o Microsystèmes RF
o MOEMS (Systèmes Electro-Mécano-Optiques)
o Microsystèmes Bio
o Micro-actionneurs

Notions de base sur les technologies microélectroniques, et sur les capteurs intégrés.