Phelma Formation 2022

MEMS - 5PMRMEM6

  • Volumes horaires

    • CM 4.0
    • Projet ?
    • TD 4.0
    • Stage ?
    • TP 8.0

    Crédits ECTS

    Crédits ECTS 1.0

Objectif(s)

Le cours vise à permettre aux étudiants d'assimiler les connaissances fondamentales nécessaires à l’intégration des blocs microsystèmes dans un circuit intégré.

Contact Libor RUFER

Contenu(s)

Microsystèmes
• Technologies de fabrication des microsystèmes
• Composants des microsystèmes et leur modélisation
• Capteurs et différents effets de couplage électromécanique
• Interfaces microélectroniques
• Accéléromètres
• Capteurs de pression
• Actionneurs et différents effets de couplage électromécanique
• Dispositifs micro-optiques
• Microsystèmes RF



Prérequis

Physique, électronique

Contrôle des connaissances

Examen Ecrit : 1h



Informations complémentaires

Cursus ingénieur->APPRENTISSAGE MT->Semestre 9

Bibliographie

• V. Kaajakari, Practical MEMS, Small Gear Publishing, 2009, 478 pp.
• S. D. Senturia, Microsystem Design, Kluwer Academic Publishers, 2001, 689 pp.
• M. H. Bao, Micro Mechanical Transducers, Elsevier, 2000, 378 pp.
• S. Mir (Ed.) Conception des microsystèmes sur silicium. Traité EGEM (Electronique, Génie Electrique, Microsystèmes). Hermes Science Publications, Paris, France, 224 pages, 2002.
• S. Mir (Ed.) Dispositifs et physique des microsystèmes sur silicium. Traité EGEM (Electronique, Génie Electrique, Microsystèmes). Hermes Science Publications, Paris, France, 224 pages, 2002.