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Diversité scientifique et technologique
L'école d'ingénieurs de physique, électronique, matériaux
Diversité scientifique et technologique

> Formation

Electrochimie pour les microsystèmes - 5PMPELM1

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  • Volumes horaires

    • CM : 12.0
    • TD : 12.0
    Crédits ECTS : 2.0

Objectifs

Aborder les aspects particuliers de l'électrochimie mis en œuvre dans l'industrie de la micro-électronique et des micro-systèmes. L'accent est mis sur les procédés de dépôt, afin d'illustrer comment une utilisation judicieuse des procédés électrochimiques permet de résoudre les problématiques spécifiques de ce domaine.

Contact Paul-Henri HAUMESSER

Contenu

A - Les micro- et nanotechnologies (4h CM)

  • AI - Historique et évolution de la microélectronique
  • AII - Les différents procédés nécessaires à la micro- et nanofabrication

B - Procédés de dépôt électrochimiques (8h CM)

  • BI - Dépôt électrolytique de Cu
  • BII - Dépôts electroless

C - Bureau d'études (12h TD)
Par groupes de 3 à 4, les élèves se voient confier l'approfondissement (théorie, ingénierie) d'une application particulière du domaine : principes mis en oeuvre, état de l'art dans la communauté scientifique, études de cas à partir de publications et de brevets.



Prérequis

Bonne connaissance des aspects thermodynamiques et cinétiques des réactions électrochimiques

Contrôles des connaissances

Rapport écrit et présentation orale du sujet du "bureau d'études".



La note prend en compte le travail de groupe (qualité du rapport et de la présentation), mais aussi la participation et l'implication de chaque étudiant(e)

Informations complémentaires

Cursus ingénieur->Double-Diplômes Ingénieur/Master->Semestre 9
Cursus ingénieur->EPEE->Semestre 9

Bibliographie

Haumesser, P.-H. Nucleation and Growth of Metals; Haumesser, P.-H., Ed.; Elsevier: Oxford, 2016.

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Grenoble INP Institut d'ingénierie Univ. Grenoble Alpes