Volumes horaires
- CM 12.0
- TD 12.0
Crédits ECTS
Crédits ECTS 1.5
Objectif(s)
Découvrir les différentes solutions technologiques pour synthétiser des matériaux céramiques et métalliques (films minces ou lingots) à partir de procédés en phase liquide ou gaz.
Niveau : Science des matériaux et transport de matière avancés
Contact Raphael BOICHOTContenu(s)
A - Synthèse des matériaux en phase liquide
- 1. Théorie
- Rappels de diagrammes de phases
- Théorie des fronts de solidification
- 2. Les procédés
- Procédés d'élaboration du silicium et application à l'industrie photovoltaïque et microélectronique
B - Synthèse des matériaux en phase gaz
- 1. Théorie
- Contexte industriel de l'élaboration des matériaux réfractaires
- Définition des différents phénomènes couplés et équations associées au transport de chaleur et de matière en milieu multi-constituants
- Rappels de cinétique homogène et hétérogène
- Thermodynamique des mélanges gazeux
- Thermodynamique et croissance cristalline
- 2. Les procédés
- Physical Vapor Transport (PVT)
- Physical Vapor Deposition (PVD)
- Chemical Vapor Deposition (CVD)
- Atomic Layer Deposition (ALD)
Prérequis
Bases de science des matériaux, transferts thermiques et transport de matière
Contrôle des connaissances
Examen écrit (2h)
Informations complémentaires
Cursus ingénieur->Masters-Recherche->Semestre 4
Cursus ingénieur->EPEE->Semestre 4
Cursus ingénieur->Master_R EPR Electroch->Semestre 4
Bibliographie
Svehla : NASA technical report R-132
Bird, Stewart, Lightfoot : Transport Phenomena
Taylor, Krishna : Multicomponent Mass Transfer
Galerie : Traitement de surface en phase vapeur
Hitchman, Jensen : Chemical Vapor Deposition
ChemKin III et Surface Chemkin manuals
Gardiner : Combustion Chemistry