Phelma Formation 2022

Génie de l'élaboration des matériaux - 4PMPGEM2

  • Volumes horaires

    • CM 12.0
    • TD 12.0

    Crédits ECTS

    Crédits ECTS 1.5

Objectif(s)

Découvrir les différentes solutions technologiques pour synthétiser des matériaux céramiques et métalliques (films minces ou lingots) à partir de procédés en phase liquide ou gaz.

Niveau : Science des matériaux et transport de matière avancés

Contact Raphael BOICHOT

Contenu(s)

A - Synthèse des matériaux en phase liquide

  • 1. Théorie
    • Rappels de diagrammes de phases
    • Théorie des fronts de solidification
  • 2. Les procédés
    • Procédés d'élaboration du silicium et application à l'industrie photovoltaïque et microélectronique

B - Synthèse des matériaux en phase gaz

  • 1. Théorie
    • Contexte industriel de l'élaboration des matériaux réfractaires
    • Définition des différents phénomènes couplés et équations associées au transport de chaleur et de matière en milieu multi-constituants
    • Rappels de cinétique homogène et hétérogène
    • Thermodynamique des mélanges gazeux
    • Thermodynamique et croissance cristalline
  • 2. Les procédés
    • Physical Vapor Transport (PVT)
    • Physical Vapor Deposition (PVD)
    • Chemical Vapor Deposition (CVD)
    • Atomic Layer Deposition (ALD)


Prérequis

Bases de science des matériaux, transferts thermiques et transport de matière

Contrôle des connaissances

Examen écrit (2h)



Informations complémentaires

Cursus ingénieur->Masters-Recherche->Semestre 4
Cursus ingénieur->EPEE->Semestre 4
Cursus ingénieur->Master_R EPR Electroch->Semestre 4

Bibliographie

Svehla : NASA technical report R-132
Bird, Stewart, Lightfoot : Transport Phenomena
Taylor, Krishna : Multicomponent Mass Transfer
Galerie : Traitement de surface en phase vapeur
Hitchman, Jensen : Chemical Vapor Deposition
ChemKin III et Surface Chemkin manuals
Gardiner : Combustion Chemistry