Phelma Formation 2022

Lithographie - 5PMNPHO1

  • Volumes horaires

    • CM 5.0
    • Projet 0
    • TD 5.0
    • Stage 0
    • TP 0

    Crédits ECTS

    Crédits ECTS 1.0

Objectif(s)

L'objectif de ce cours est de donner un aperçu des techniques de lithographie avancées, tels qu'elles sont utilisées dans l'industrie aujourd'hui, tels qu'elles le seront peut être demain.

Contact Irina IONICA

Contenu(s)

  • Introduction à la lithographie (définitions, objectifs, classifications, enjeux)
  • Lithographie optique (étapes, systèmes d'exposition et d'alignement, optique pour la lithographie, techniques d'amélioration de la résolution, lithographie en immersion, lithographie extreme-UV…)
  • Introduction aux nouvelles techniques de lithographie (e-beam, nano-imprint)


Prérequis

quelques notions de technologie microélectronique

Contrôle des connaissances

Session 1 : test de 30 minutes
Session 2 : examen écrit de 30 minutes



100% écrit

Informations complémentaires

Cursus ingénieur->Filières->Semestre 9
Cursus ingénieur->Double-Diplômes Ingénieur/Master->Semestre 9