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Diversité scientifique et technologique
L'école d'ingénieurs de physique, électronique, matériaux
Diversité scientifique et technologique

> Formation

Science des matériaux pour les films minces - 4PMMTP44

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  • Volumes horaires

    • CM : 7.0
    • TD : 7.0
    Crédits ECTS : 1.5

Objectifs

Les dispositifs microélectroniques sont réalisés par dépôts successifs de films minces. Ce cours présente les relations entre procédés, microstructures et propriétés de ces films.

Contact Fabien VOLPI

Contenu

Notions de base d’élaboration de couches minces :
-Introduction aux relations procédés / matériaux / propriétés
-Quel impact des grandeurs physiques, chimiques et thermodynamiques sur les mécanismes d’élaboration (nature des surfaces, énergies de surfaces et interfaces, mouillabilité,...)
-Quel lien entre les grandeurs effectivement modulables par l’expérimentateur et le film élaboré
-Mécanique des films minces, contraintes résiduelles (pourquoi , comment les mesurer, utilité ,...)
Evolutions microstructurales des films minces sous contrainte mécanique (voids, hillocks et wiskers)
Contraintes dans les semiconducteurs (anisotropie des contraintes, épitaxie, couches dopées,...)



Prérequis

Contrôles des connaissances

Devoir surveillé (2h)



Informations complémentaires

Le cours vaut 2.0 ECTS pour les étudiants du cursus UE Aspects fond de science mat III

Le cours vaut 2.0 ECTS pour les étudiants du cursus UE Matériaux appliqués S8

Cursus ingénieur->Master RI EFM->Semestre 8
Cursus ingénieur->Master RI FAME->Semestre 8
Cursus ingénieur->Cursus Internationaux->Semestre 8
Cursus ingénieur->SIM->Semestre 8
Cursus ingénieur->Advanced Materials (AM)->Semestre 8
Cursus ingénieur->Master RI MANUEN->Semestre 8

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Grenoble INP Institut d'ingénierie Univ. Grenoble Alpes