Volumes horaires
- CM 10.0
- TD 8.0
Crédits ECTS
Crédits ECTS 2.0
Objectif(s)
voir descriptif du cours porteur 5PMMECI1 en 3A-SIM
Contact Fabien VOLPI
Contenu(s)
Prérequis
Contrôle des connaissances
L'examen existe uniquement en anglais 
Informations complémentaires
Le cours est donné uniquement en anglais
Cursus ingénieur->Cursus Internationaux->Semestre 5
Cursus ingénieur->Master RI FAME->Semestre 5
Bibliographie
- Silicon processing for the VLSI era. (vol.1 & 2), Stanley Wolf, Richard N. Tauber Edition, 2nd ed, Sunset Beach, Calif : Lattice Press (2000)
- Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice and Modeling, James D. Plummer, Michael Deal, Peter Griffin, Ed Prentice Hall (2000)
- The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication, Stephen A. Campbell, Ed Oxford University Press Inc, 2nd revised edition (2003)
- Reliability and Failure of Electronic Materials and Devices, Milton Ohring, Ed Academic Press Inc (1998)
- Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology, Robert Doering, Yoshio Nishi, Ed CRC Press Inc, 2nd Revised edition (2007)
