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Diversité scientifique et technologique
L'école d'ingénieurs de physique, électronique, matériaux
Diversité scientifique et technologique

> Formation > Cursus ingénieur

Elaboration of integrated circuits

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  • Volumes horaires

    • CM : 9.0
    • TD : 9.0
    Crédits ECTS : 1.5

Objectifs

Ce cours présente la filière d'élaboration en microtechnologies (microélectronique, microsystèmes, biotechnologies,...). Les impacts «matériaux» et les limitations des procédés sont aussi présentés. Une approche "Analyse de défaillance" est aussi faite en parallèle.


Contact Fabien VOLPI

Contenu

  • Introduction générale. Présentation de la filière standard d'élaboration en microtechnologies. Quelques rappels (miniaturisation, intégration, Front-End / Back-End,...).
  • Une structure CMOS standard est prise comme exemple pour illustrer la succession des étapes de fabrication.
  • Chaque famille de procédé est décortiquée en mettant en relief la physico-chimie des procédés, les avantages et inconvénients, les limitations, les techniques à l'état de l'art,...
  • Nettoyage - Séchage
  • Dépôt / Croissance
  • Photolithographie
  • Gravure
  • Dopage
  • Procédés spécifiques aux microsystèmes (Micro-usinage)


Prérequis

Contrôles des connaissances

L'examen existe uniquement en anglais 

Devoir surveillé (2h)



Informations complémentaires

Le cours est donné uniquement en anglais EN

Cursus ingénieur->SIM->Semestre 5

Bibliographie

Silicon processing for the VLSI era. (vol.1 & 2), Stanley Wolf, Richard N. Tauber Edition, 2nd ed, Sunset Beach, Calif : Lattice Press (2000)

Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice and Modeling, James D. Plummer, Michael Deal, Peter Griffin, Ed Prentice Hall (2000)
The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication, Stephen A. Campbell, Ed Oxford University Press Inc, 2nd revised edition (2003
Reliability and Failure of Electronic Materials and Devices, Milton Ohring, Ed Academic Press Inc (1998)
Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology, Robert Doering, Yoshio Nishi, Ed CRC Press Inc, 2nd Revised edition (2007)

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Université Grenoble Alpes