Volumes horaires
- CM 10.0
- TD 10.0
Crédits ECTS
Crédits ECTS 2.0
Objectif(s)
Faire connaître le concept de microsystèmes et montrer la grande variété des domaines de la physique mis en jeu en R&D pour intégrer sur une même puce de silicium, capteurs, traitement du signal et actionneurs.
Comprendre pourquoi les interactions magnétiques bénéficient souvent des lois de réduction d'échelle: champs et gradients générés par les aimants et les conducteurs, densités de forces entre ces éléments.
Comprendre comment ces interactions sont mises à profit dans les microsystèmes.
Découvrir divers types d'applications tant au niveau R&D qu'en produits commerciaux.
Contenu(s)
Le cours est divisé en deux parties :
1ère partie (Généralités):
Introduction générale sur le concept de Microsystèmes
Microtechnologies
Microcapteurs
Microactionneurs
2ème partie (Microsystèmes magnétiques):
Introduction aux interactions magnétiques.
Lois de réduction d'échelle pour les aimants et les conducteurs:
- Champs, gradients, forces.
- Densité de courant admissible.
Intégration des micro-bobines et des micro-aimants : - réalisation, limites.
Diamagnétisme et lévitation
Matériaux actifs
Exemples de Mag-MEMS (en recherche, R&D, et déjà sur le marché.)
Prérequis
Technologie microélectronique
Physique des semiconducteurs et des composants à semiconducteurs
Les bases de magnétisme et d'électricité vues en terminale S et dans les filières scientifiques.
Un cerveau en état de marche.
Un minimum d'imagination.
Ecrit 2h
examen écrit en fin d'année 1 heure