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Diversité scientifique et technologique
L'école d'ingénieurs de physique, électronique, matériaux
Diversité scientifique et technologique

> Formation

Physique des processus technologiques - 5PMNPPT0

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  • Volumes horaires

    • CM : 16.0
    • TD : 4.0
    Crédits ECTS : 1.5

Objectifs

L'objectif du cours est de modéliser les phénomènes physiques qui interviennent dans la technologie actuelle de la microélectronique, en se focalisant sur les problèmes impliquant le semiconducteur et les couches formées par réaction à sa surface (SiO2 et siliciures). Les phénomènes sont illustrés dans le cas du silicium, principalement, et de semi-conducteurs «alternatifs» (SiC, GaN, diamant, ...).

Contact Etienne GHEERAERT

Contenu

  • Introduction : Principales étapes techno-logiques des circuits actuels. Tendances.
  • Diffusion atomique dans les semi conducteurs : historique, auto diffusion, diffusion des dopants.
  • Implantation ionique : historique, modèle LSS, application au dopage et au SmartCut, cas des jonctions peu profondes, recuits, TED.
  • Formation de couches par réaction chimique. Application à l'oxyde thermique du silicium.


Prérequis

Contrôles des connaissances

Devoir surveillé de 2h00.



Informations complémentaires

Cursus ingénieur->PNS->Semestre 5

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Université Grenoble Alpes