Phelma Formation 2022

Science des couches minces

  • Volumes horaires

    • CM 8.0
    • TD 6.0

    Crédits ECTS

    Crédits ECTS 1.5

Objectif(s)

VOIR FICHE 2A-SIM 4PMMSFI9


Contact Fabien VOLPI

Contenu(s)



Prérequis

Contrôle des connaissances

L'examen existe uniquement en anglais 



Informations complémentaires

Le cours est donné uniquement en anglais EN

Cursus ingénieur->Master RI FAME->Semestre 4

Bibliographie

Tu KN, Mayer JW, Feldman LC, Ohring M, Electronic thin film science, McMillan
Freund LB, Suresh S, Thin film materials, stress defect formation & surface evolution