Volumes horaires
- CM 10.0
- TD 6.0
Crédits ECTS
Crédits ECTS 1.5
Objectif(s)
VOIR FICHE 2A-SIM 4PMMEFI9
Contact Fabien VOLPI
Contenu(s)
Prérequis
Contrôle des connaissances
L'examen existe uniquement en anglais
Informations complémentaires
Le cours est donné uniquement en anglais
Cursus ingénieur->Cursus Internationaux->Semestre 4
Cursus ingénieur->Master RI FAME->Semestre 4
Bibliographie
- Hitchman M.L. & Jensen K.F., CVD: Principles and Applications, Acad. Press, London, 1992
- Ohring M., The Material Science of Thin Films, Academic Press, London, 1992