Phelma Formation 2022

Techniques d'élaboration de films minces

  • Volumes horaires

    • CM 10.0
    • TD 6.0

    Crédits ECTS

    Crédits ECTS 1.5

Objectif(s)

VOIR FICHE 2A-SIM 4PMMEFI9


Contact Fabien VOLPI

Contenu(s)



Prérequis

Contrôle des connaissances

L'examen existe uniquement en anglais 



Informations complémentaires

Le cours est donné uniquement en anglais EN

Cursus ingénieur->Master RI FAME->Semestre 4

Bibliographie

  • Hitchman M.L. & Jensen K.F., CVD: Principles and Applications, Acad. Press, London, 1992
  • Ohring M., The Material Science of Thin Films, Academic Press, London, 1992