Volumes horaires
- CM 8.0
Crédits ECTS
Crédits ECTS 0.5
Objectif(s)
Cet enseignement vise à familiariser les étudiants aux opérations technologiques qui sont nécessaires à l'élaboration des circuits intégrés (filière NMOS), en lien avec les TPs salle blanche.
Contact Irina IONICA
Contenu(s)
Présentation introductive d'une intégration CMOS et d'une salle blanche ; Les traitements thermiques ; Les dépôts (CVD, pulvérisation, évaporation, ..); Le dopage (implantation ionique, diffusion) ; La lithographie ; La gravure ; Intégration filière.
Prérequis
Contrôle des connaissances
Examen
Bibliographie
S. M. Sze : Semiconductor Devices : Physics and Technology (Wiley, 1985 & 2001). Dispositifs et Circuits intégrés semiconducteurs, Physique et Technologie, A. Vapaille (Bordas, 1993)
