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Diversité scientifique et technologique
L'école d'ingénieurs de physique, électronique, matériaux
Diversité scientifique et technologique

> Formation > Cursus ingénieur

Technologie microélectronique

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  • Volumes horaires

    • CM : 8.0
    Crédits ECTS : 0.5

Objectifs

Cet enseignement vise à familiariser les étudiants aux opérations technologiques qui sont nécessaires à l'élaboration des circuits intégrés (filière NMOS), en lien avec les TPs salle blanche.


Contact Irina IONICA

Contenu

Présentation introductive d'une intégration CMOS et d'une salle blanche ; Les traitements thermiques ; Les dépôts (CVD, pulvérisation, évaporation, ..); Le dopage (implantation ionique, diffusion) ; La lithographie ; La gravure ; Intégration filière.



Prérequis

Contrôles des connaissances

Examen



Informations complémentaires

Cursus ingénieur->SEI->Semestre 4

Bibliographie

S. M. Sze : Semiconductor Devices : Physics and Technology (Wiley, 1985 & 2001). Dispositifs et Circuits intégrés semiconducteurs, Physique et Technologie, A. Vapaille (Bordas, 1993)

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Université Grenoble Alpes