TP CIME Microsystèmes

Objectif(s)

L'objectif de ce TP est de permettre aux étudiants de réaliser des composants électroniques dans l'environnement salle blanche au moyen de la technologie microélectronique.

Contenu(s)

Le TP consiste en deux séances de 8h :

2 Séances en salle blanche de 8h :

Le but est de réaliser des transistors et des MEMS, tout en découvrant les principaux procédés de la technologie microélectronique :

• traitements thermiques (recuit, oxydation)
• techniques de dépôt (pulvérisation cathodique, évaporation sous vide)
• photolithographie
• gravure humide ou sèche

néant