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Diversité scientifique et technologique
L'école d'ingénieurs de physique, électronique, matériaux
Diversité scientifique et technologique

> Formation > Cursus ingénieur

TP CIME Microsystèmes

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  • Volumes horaires

    • TP : 20.0
    Crédits ECTS : 1.5

Objectifs

L'objectif de ce TP est de permettre aux étudiants de réaliser des composants électroniques dans l'environnement salle blanche au moyen de la technologie microélectronique.

Contact Celine TERNON

Contenu

Le TP consiste en deux séances de 8h :

2 Séances en salle blanche de 8h :

Le but est de réaliser des transistors et des MEMS, tout en découvrant les principaux procédés de la technologie microélectronique :

  • traitements thermiques (recuit, oxydation)
  • techniques de dépôt (pulvérisation cathodique, évaporation sous vide)
  • photolithographie
  • gravure humide ou sèche


Prérequis

néant

Contrôles des connaissances

Rédaction d'un compte-rendu



Informations complémentaires

Cursus ingénieur->SMPB->Semestre 5

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Université Grenoble Alpes