TP CIME (simu, salle blanche, caractérisation) - 4PMBCIM9

Objectif(s)

L'objectif de ce TP est de permettre aux étudiants de modéliser, réaliser et caractériser des composants électroniques. Pour cela, la simulation de la technologie est faite à l'aide du logiciel Silvaco; les composants sont réalisés dans l'environnement salle blanche au moyen de la technologie microélectronique; la caractérisation électrique est ensuite effectuée au moyen de stations sous pointes.

Contenu(s)

Le TP consiste en trois séances de 8h :

1 Séance de simulation sous Silvaco de 8h
Au cours de cette séance la filière nécessaire à la fabrication de transistor est simulée

1 Séance en salle blanche de 8h :

Le but est de réaliser des capacités et des diodes, tout en découvrant les principaux procédés de la technologie microélectronique :

• traitements thermiques (recuit, oxydation)
• techniques de dépôt (pulvérisation cathodique, évaporation sous vide)
• photolithographie
• gravure humide ou sèche

1 Séance de caractérisation de 8h :

Au cours de cette séance, il s'agira d'une part de caractériser les composants réalisés en salle blanche et d'autre part d'étudier également des transistors :

• mesure courant-tension sur diodes pn et transistors MOS
• mesure capacité-tension sur capacités MOS
• extractions de paramètres physiques et électriques

Cours "Technologie des dispositfs"
4PMBTDS9