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Diversité scientifique et technologique
L'école d'ingénieurs de physique, électronique, matériaux
Diversité scientifique et technologique

> Formation

TP CIME (simu, salle blanche, caractérisation) - 4PMBCIM9

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  • Volumes horaires

    • TP : 24.0
    Crédits ECTS : 2.0

Objectifs

L'objectif de ce TP est de permettre aux étudiants de modéliser, réaliser et caractériser des composants électroniques. Pour cela, la simulation de la technologie est faite à l'aide du logiciel Silvaco; les composants sont réalisés dans l'environnement salle blanche au moyen de la technologie microélectronique; la caractérisation électrique est ensuite effectuée au moyen de stations sous pointes.

Contact Alice CAPLIER

Contenu

Le TP consiste en trois séances de 8h :

1 Séance de simulation sous Silvaco de 8h
Au cours de cette séance la filière nécessaire à la fabrication de transistor est simulée

1 Séance en salle blanche de 8h :

Le but est de réaliser des capacités et des diodes, tout en découvrant les principaux procédés de la technologie microélectronique :

  • traitements thermiques (recuit, oxydation)
  • techniques de dépôt (pulvérisation cathodique, évaporation sous vide)
  • photolithographie
  • gravure humide ou sèche

1 Séance de caractérisation de 8h :

Au cours de cette séance, il s'agira d'une part de caractériser les composants réalisés en salle blanche et d'autre part d'étudier également des transistors :

  • mesure courant-tension sur diodes pn et transistors MOS
  • mesure capacité-tension sur capacités MOS
  • extractions de paramètres physiques et électriques


Prérequis

Cours "Technologie des dispositfs"
4PMBTDS9

Contrôles des connaissances

A l'issue de chaque séance un compte-rendu synthétique est demandé



Informations complémentaires

Cursus ingénieur->BIOMED->Semestre 4

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Université Grenoble Alpes