Phelma_Rubrique_L'Ecole

Electrochimie pour les micro systèmes (Master ELP - Echelon 3)

  • Volumes horaires

    • CM 24

    Crédits ECTS

    Crédits ECTS 3

Objectif(s)

Aborder les aspects particuliers de l'électrochimie, en particulier des semiconducteurs, mis en œuvre dans l'industrie de la micro-électronique et des micro-systèmes

Responsable(s)


Contact(s)

Jean-Pierre PETIT

Contenu(s)

A    Electrochimie des semiconducteurs (10hC)

  • AI - Rappels : niveaux d'énergie électronique dans les solides, théorie des bandes.
  • AII - Niveaux d'énergie électronique des espèces redox dans un électrolyte.
  • AIII - Transfert de charges à une interface métal/électrolyte et à une interface semiconducteur/ électrolyte à l'obscurité
  • AIV - Transfert de charges à une interface semiconducteur/électrolyte sous lumière ; phéno-mènes de base en photo-électrochimie.

B    Electrochimie et industries de la micro-électronique et des micro-systèmes   (6hC)

  • BI - Vocabulaire et descriptif succinct des principaux procédés mis en œuvre en micro-électronique
  • BII - Panorama des applications de l'électrochimie dans cette industrie

C    Conférences d'acteurs au quotidien du domaine (8h= 4 * 2h TD)

D    Bureau d'études (24h)

Par groupes de 2 à 3, les élèves se voient confier l'approfondissement (théorie, ingénierie) d'une application particulière du domaine : principes mis en œuvre, état de l'art dans la communauté scientifique, études de cas à partir de publications et de brevets. 

Contrôle des connaissances

Oral

Bibliographie

  • N. Sato, Electrochemistry at Metal and Semicon-ductor electrodes, Elsevier Science, 1998 ;
  • R. Memming , Semiconductor Electrochemistry, Wiley-VCH, 2000 ; 
  • IBM J. of R&D : Volumes 42-5 (1998) et 49-1 (2005)