TP Micro Electromechanical Systems (MEMS) - Salle blanche

Thématiques

• Technologies de fabrication en salle blanche / Caractérisation et applications des dispositifs MEMS

Objectifs

• Donner une introduction de l’environnement de salle blanche
• Suivre le procédé de fabrication de transistors MOS et de membranes équipées de jauges d’exténsométrie, 
• Préparer des dispositifs qui seront testés sous pointe dans les TP de caractérisation

Déroulé

• Photolithographie
• Gravure RIE
• Dopage par implantation ionique
• Nettoyage
• Recuits d’implantation et procédés thermiques
• Dépôt aluminium par pulvérisation cathodique
• Gravure humide de l’aluminium
• Photolithographie en face arrière
• Gravure profonde DRIE

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