Phelma Formation 2022

5PMNPHO1 : Lithographie - WPMNDPH9

  • Volumes horaires

    • CM 5.0
    • Projet 0
    • TD 5.0
    • Stage 0
    • TP 0

    Crédits ECTS

    Crédits ECTS 1.0

Objectif(s)

L'objectif de ce cours est de donner un aperçu des techniques de lithographie avancées, tels qu'elles sont utilisées dans l'industrie aujourd'hui, tels qu'elles le seront peut être demain.

Contact Irina IONICA

Contenu(s)

  • Introduction à la lithographie (définitions, objectifs, classifications, enjeux)
  • Lithographie optique (étapes, systèmes d'exposition et d'alignement, optique pour la lithographie, techniques d'amélioration de la résolution, lithographie en immersion, lithographie extreme-UV…)
  • Introduction aux nouvelles techniques de lithographie (e-beam, nano-imprint)


Prérequis

quelques notions de technologie microélectronique

Contrôle des connaissances

Session 1 présentiel : examen écrit d’une heure, sans documents, sans calculettes
Session 1 à distance : test en ligne de 30 minutes

Session 2 présentiel : examen écrit d’une heure, sans documents, sans calculettes
Session 2 à distance : DM + 30 minutes vision zoom



100% écrit

Informations complémentaires

Cursus ingénieur->Double-Diplômes Ingénieur/Master->Semestre 9
Cursus ingénieur->Masters->Semestre 9