Filière de fabrication en microtechnologies - 5PMFFFM6
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Volumes horaires
- CM : 4.0
- TD : 4.0
- TP : 0
- Projet : 0
- Stage : 0
Crédits ECTS : 2.0
Objectifs
Learning the whole process flow in microtechnology production lines.
Contact Fabien VOLPI
Contenu Lectures to introduce the clean-room practical works.
Introduction to Microtechnology process flow
Main trends,...
Microtechnology process flow step by step
Cleaning/drying, Thin film deposition, Photolithography, Etching, Ion implantation
Timeline of a chip fabrication
PrérequisKnowledge in material science for thin films
Contrôles des connaissances Semestre 9 - L'examen existe uniquement en anglais 
On-site : Written exam (1h)/ Lecture documents and calculator allowed.
Remote : Written exam (1h+30 min for remote organisation)/ Lecture documents and calculator allowed / Subject downloaded on Chamilo - Exam supervised from your webcam through Zoom interface - Written sheets scanned and uploaded on the Chamilo folder "Travaux". In case of technical problem it can be sent by an other service.
Written exam
Informations complémentaires Semestre 9 - Le cours est donné uniquement en anglais 
Cursus ingénieur->Cursus Internationaux->Semestre 9
Cursus ingénieur->Filières->Semestre 9
Bibliographie Handbook of semiconductor manufacturing technology, R. Doering, Y. Nishi, Ed. CRC Press Inc., 2007
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mise à jour le 24 juillet 2015