Electrochimie pour les microsystèmes - 5PMPELM1

Informations générales

  • Volumes horaires

    • CM 12.0
    • Projet 0
    • TD 12.0
    • Stage 0
    • TP 0
    • DS 0

    Crédits ECTS

    Crédits ECTS 2.0

Objectif(s)

Aborder les aspects particuliers de l'électrochimie mis en œuvre dans l'industrie de la micro-électronique et des micro-systèmes. L'accent est mis sur les procédés de dépôt, afin d'illustrer comment une utilisation judicieuse des procédés électrochimiques permet de résoudre les problématiques spécifiques de ce domaine.

Contact Paul Henri HAUMESSER, Pierre Antoine BONNEFONT, Raphael BOICHOT, Nicolas SERGENT, Lenka SVECOVA, Florence DRUART

Contenu(s)

A - Les micro- et nanotechnologies (4h CM)

  • AI - Historique et évolution de la microélectronique
  • AII - Les différents procédés nécessaires à la micro- et nanofabrication

B - Procédés de dépôt électrochimiques (8h CM)

  • BI - Dépôt électrolytique de Cu
  • BII - Dépôts electroless

C - Bureau d'études (12h TD)
Par groupes de 3 à 4, les élèves se voient confier l'approfondissement (théorie, ingénierie) d'une application particulière du domaine : principes mis en oeuvre, état de l'art dans la communauté scientifique, études de cas à partir de publications et de brevets.



Prérequis

Bonne connaissance des aspects thermodynamiques et cinétiques des réactions électrochimiques

Contrôle des connaissances

Rapport écrit et présentation orale du sujet du "bureau d'études".



Informations complémentaires

Cursus ingénieur->Masters->Semestre 9

Bibliographie

Haumesser, P.-H. Nucleation and Growth of Metals; Haumesser, P.-H., Ed.; Elsevier: Oxford, 2016.