Volumes horaires
- CM 12.0
- Projet 0
- TD 12.0
- Stage 0
- TP 0
- DS 0
Crédits ECTS
Crédits ECTS 2.0
Objectif(s)
Aborder les aspects particuliers de l'électrochimie mis en œuvre dans l'industrie de la micro-électronique et des micro-systèmes. L'accent est mis sur les procédés de dépôt, afin d'illustrer comment une utilisation judicieuse des procédés électrochimiques permet de résoudre les problématiques spécifiques de ce domaine.
Contact Paul Henri HAUMESSERContenu(s)
A - Les micro- et nanotechnologies (4h CM)
- AI - Historique et évolution de la microélectronique
- AII - Les différents procédés nécessaires à la micro- et nanofabrication
B - Procédés de dépôt électrochimiques (8h CM)
- BI - Dépôt électrolytique de Cu
- BII - Dépôts electroless
C - Bureau d'études (12h TD)
Par groupes de 3 à 4, les élèves se voient confier l'approfondissement (théorie, ingénierie) d'une application particulière du domaine : principes mis en oeuvre, état de l'art dans la communauté scientifique, études de cas à partir de publications et de brevets.
Prérequis
Bonne connaissance des aspects thermodynamiques et cinétiques des réactions électrochimiques
Contrôle des connaissances
Rapport écrit et présentation orale du sujet du "bureau d'études".
La note prend en compte le travail de groupe (qualité du rapport et de la présentation), mais aussi la participation et l'implication de chaque étudiant(e)
Informations complémentaires
Cursus ingénieur->Filière EPEE->Semestre 9
Cursus ingénieur->Apprentissage MEP->Semestre 9
Cursus ingénieur->Masters->Semestre 9
Bibliographie
Haumesser, P.-H. Nucleation and Growth of Metals; Haumesser, P.-H., Ed.; Elsevier: Oxford, 2016.