Volumes horaires
- CM 6.0
- Projet 0
- TD 6.0
- Stage 0
- TP 0
Crédits ECTS
Crédits ECTS 1.0
Objectif(s)
Contact Bertrand LE GRATIET
Contenu(s)
1.Optical lithography:
1.1. Description of a standard scanner
1.2. Phenomenological description of image formation
1.3. Lithography criteria: Resolution, depth of focus, line edge roughness, ..
2. Trends in optical lithography: Resolution Enhancement Techniques:
2.1. Immersion Lithography
2.2. Double patterning
2.3. Optical Proximity effects Correction (OPC)
2.4. Advanced masks
3. Next Generation lithography:
3.1. Extreme UltraViolet (EUV)
3.2. Imprint
3.3. Directed Self Assembly
3.4. Direct electron beam writing
4. Focus on e-beam lithography technique (by Jonathan Pradelles, CEA-Leti)
4.1. e-beam writer description
4.2. Physics of electron/matter interaction
4.3. OPC in e-beam lithography
Prérequis
Contrôle des connaissances
Semestre 8 - L'examen existe uniquement en anglais 
En présentiel
SESSION NORMALE :
Types d'évaluation (examen écrit, oral, CC, TP, Rapport, ...) :
*Évaluation rattrapable :*
Type d'évaluation :
Durée :
Documents autorisés :
Documents interdits :
Matériels spécifiques autorisés :
Calculatrice :
Possible en distanciel :
Commentaire :
*Évaluation non rattrapable :*
Type d'évaluation :
Durée :
Documents autorisés :
Documents interdits :
Matériels spécifiques autorisés :
Calculatrice :
Possible en distanciel :
Commentaire :
SESSION DE RATTRAPAGE :
Types d'évaluation (examen écrit, oral, CC, TP, Rapport, ...) :
Type d'évaluation :
Durée :
Documents autorisés :
Documents interdits :
Matériels spécifiques autorisés :
Calculatrice :
Possible en distanciel :
Commentaire :
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En distanciel
SESSION NORMALE :
Types d'évaluation (examen écrit, oral, CC, TP, Rapport, ...) :
*Évaluation rattrapable :*
Type d'évaluation :
Durée :
Documents autorisés :
Documents interdits :
Matériels spécifiques autorisés :
Calculatrice :
Commentaire :
*Évaluation non rattrapable :*
Type d'évaluation :
Durée :
Documents autorisés :
Documents interdits :
Matériels spécifiques autorisés :
Calculatrice :
Commentaire :
SESSION DE RATTRAPAGE :
Types d'évaluation (examen écrit, oral, CC, TP, Rapport, ...) :
Type d'évaluation :
Durée :
Documents autorisés :
Documents interdits :
Matériels spécifiques autorisés :
Calculatrice :
Commentaire :
Contrôle continue : CC
Examen écrit Session1 : DS1
Examen écrit Session 2 : DS2
N1 = Note finale session 1
N2 = Note finale session 2
En présentiel :
N1 = % max(TdE, CC) + % DS1
N2 = % max(TdE, CC) + % DS2
En distanciel :
N1 =
N2 =
Commentaire :
Informations complémentaires
Semestre 8 - Le cours est donné uniquement en anglais
Cursus ingénieur->Filières->Semestre 8