MEMS - 5PMRMEM6
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Volumes horaires
- CM : 4.0
- TD : 4.0
- TP : 8.0
- Projet : ?
- Stage : ?
Crédits ECTS : 1.0
Objectifs
Le cours vise à permettre aux étudiants d'assimiler les connaissances fondamentales nécessaires à l’intégration des blocs microsystèmes dans un circuit intégré.
Contact Libor RUFER
Contenu Microsystèmes
• Technologies de fabrication des microsystèmes
• Composants des microsystèmes et leur modélisation
• Capteurs et différents effets de couplage électromécanique
• Interfaces microélectroniques
• Accéléromètres
• Capteurs de pression
• Actionneurs et différents effets de couplage électromécanique
• Dispositifs micro-optiques
• Microsystèmes RF
PrérequisPhysique, électronique
Contrôles des connaissances Examen Ecrit : 1h
Informations complémentaires Cursus ingénieur->APPRENTISSAGE MT->Semestre 9
Bibliographie • V. Kaajakari, Practical MEMS, Small Gear Publishing, 2009, 478 pp.
• S. D. Senturia, Microsystem Design, Kluwer Academic Publishers, 2001, 689 pp.
• M. H. Bao, Micro Mechanical Transducers, Elsevier, 2000, 378 pp.
• S. Mir (Ed.) Conception des microsystèmes sur silicium. Traité EGEM (Electronique, Génie Electrique, Microsystèmes). Hermes Science Publications, Paris, France, 224 pages, 2002.
• S. Mir (Ed.) Dispositifs et physique des microsystèmes sur silicium. Traité EGEM (Electronique, Génie Electrique, Microsystèmes). Hermes Science Publications, Paris, France, 224 pages, 2002.
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mise à jour le 6 mars 2019