Volumes horaires
- CM 4.0
- Projet ?
- TD 4.0
- Stage ?
- TP 8.0
Crédits ECTS
Crédits ECTS 1.0
Objectif(s)
Le cours vise à permettre aux étudiants d'assimiler les connaissances fondamentales nécessaires à l’intégration des blocs microsystèmes dans un circuit intégré.
Contact Libor RUFERContenu(s)
Microsystèmes
• Technologies de fabrication des microsystèmes
• Composants des microsystèmes et leur modélisation
• Capteurs et différents effets de couplage électromécanique
• Interfaces microélectroniques
• Accéléromètres
• Capteurs de pression
• Actionneurs et différents effets de couplage électromécanique
• Dispositifs micro-optiques
• Microsystèmes RF
Prérequis
Physique, électronique
Contrôle des connaissances
Examen Ecrit : 1h
Bibliographie
• V. Kaajakari, Practical MEMS, Small Gear Publishing, 2009, 478 pp.
• S. D. Senturia, Microsystem Design, Kluwer Academic Publishers, 2001, 689 pp.
• M. H. Bao, Micro Mechanical Transducers, Elsevier, 2000, 378 pp.
• S. Mir (Ed.) Conception des microsystèmes sur silicium. Traité EGEM (Electronique, Génie Electrique, Microsystèmes). Hermes Science Publications, Paris, France, 224 pages, 2002.
• S. Mir (Ed.) Dispositifs et physique des microsystèmes sur silicium. Traité EGEM (Electronique, Génie Electrique, Microsystèmes). Hermes Science Publications, Paris, France, 224 pages, 2002.