Le cours vise à permettre aux étudiants d'assimiler les connaissances fondamentales nécessaires à l’intégration des blocs microsystèmes dans un circuit intégré.
Contact Libor RUFERMicrosystèmes
• Technologies de fabrication des microsystèmes
• Composants des microsystèmes et leur modélisation
• Capteurs et différents effets de couplage électromécanique
• Interfaces microélectroniques
• Accéléromètres
• Capteurs de pression
• Actionneurs et différents effets de couplage électromécanique
• Dispositifs micro-optiques
• Microsystèmes RF
Physique, électronique
Examen Ecrit : 1h
• V. Kaajakari, Practical MEMS, Small Gear Publishing, 2009, 478 pp.
• S. D. Senturia, Microsystem Design, Kluwer Academic Publishers, 2001, 689 pp.
• M. H. Bao, Micro Mechanical Transducers, Elsevier, 2000, 378 pp.
• S. Mir (Ed.) Conception des microsystèmes sur silicium. Traité EGEM (Electronique, Génie Electrique, Microsystèmes). Hermes Science Publications, Paris, France, 224 pages, 2002.
• S. Mir (Ed.) Dispositifs et physique des microsystèmes sur silicium. Traité EGEM (Electronique, Génie Electrique, Microsystèmes). Hermes Science Publications, Paris, France, 224 pages, 2002.
mise à jour le 6 mars 2019
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