Volumes horaires
- CM 4.0
- Projet 0
- TD 4.0
- Stage 0
- TP 0
Crédits ECTS
Crédits ECTS 1.0
Objectif(s)
L’objectif du cours est de décrire la filière de fabrication en micro- et nano-technologies.
Contact Fabien VOLPIContenu(s)
Cours/TD
Après une présentation générale du contexte industriel, les étapes technologiques sont revues une à une (nettoyage, dépôt de film mince, photolithographie, gravure, implantation ionique). Les forces et faiblesses des différentes techniques sont discutées, au regard de la physico-chimie des processus impliqués. Au final, un composant est fabriqué virtuellement sous forme de TD.
Prérequis
Physique des semiconducteurs
Sciences des matériaux des films minces
Techniques d'élaboration de films minces
Contrôle des connaissances
Session 1 : Examen écrit (Calculatrice et doc autorisés)
Session 2 : Examen écrit (Calculatrice et doc autorisés)
100% examen écrit
Informations complémentaires
Cursus ingénieur->Apprentissage MEP->Semestre 9
Cursus ingénieur->Filière SIM->Semestre 9
Cursus ingénieur->Filière AM->Semestre 9
Cursus ingénieur->Cursus Internationaux->Semestre 9