Mise en Forme - Micro-Nanotechnologies - 5PMMMNA4

Informations générales

  • Volumes horaires

    • CM 4.0
    • Projet 0
    • TD 4.0
    • Stage 0
    • TP 0

    Crédits ECTS

    Crédits ECTS 0.5

Objectif(s)

L’objectif du cours est de décrire la filière de fabrication en micro- et nano-technologies.

Contact Pierre Antoine BONNEFONT, Alexis DESCHAMPS, Fabien VOLPI

Contenu(s)

Cours/TD
Après une présentation générale du contexte industriel, les étapes technologiques sont revues une à une (nettoyage, dépôt de film mince, photolithographie, gravure, implantation ionique). Les forces et faiblesses des différentes techniques sont discutées, au regard de la physico-chimie des processus impliqués. Au final, un composant est fabriqué virtuellement sous forme de TD.



Prérequis

Physique des semiconducteurs
Sciences des matériaux des films minces
Techniques d'élaboration de films minces

Contrôle des connaissances

Session 1 : Examen écrit (Calculatrice et documents autorisés)
Session 2 : Examen écrit (Calculatrice et documents autorisés)



Informations complémentaires

Cursus ingénieur->Filière SIM->Semestre 9
Cursus ingénieur->Apprentissage MEP->Semestre 9