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Diversité scientifique et technologique
L'école d'ingénieurs de physique, électronique, matériaux
Diversité scientifique et technologique

> Formation

Lithographie - 5PMNPHO1

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  • Volumes horaires

    • CM : 5.0
    • TD : 5.0
    • TP : 0
    • Projet : 0
    • Stage : 0
    Crédits ECTS : 1.0

Objectifs

L'objectif de ce cours est de donner un aperçu des techniques de lithographie avancées, tels qu'elles sont utilisées dans l'industrie aujourd'hui, tels qu'elles le seront peut être demain.

Contact Irina IONICA

Contenu

  • Introduction à la lithographie (définitions, objectifs, classifications, enjeux)
  • Lithographie optique (étapes, systèmes d'exposition et d'alignement, optique pour la lithographie, techniques d'amélioration de la résolution, lithographie en immersion, lithographie extreme-UV…)
  • Introduction aux nouvelles techniques de lithographie (e-beam, nano-imprint)


Prérequis

quelques notions de technologie microélectronique

Contrôles des connaissances

Session 1 : test de 30 minutes
Session 2 : examen écrit de 30 minutes



Informations complémentaires

Cursus ingénieur->Filières->Semestre 9
Cursus ingénieur->Double-Diplômes Ingénieur/Master->Semestre 9

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Université Grenoble Alpes