Lithographie - 5PMNPHO1

Objectif(s)

L'objectif de ce cours est de donner un aperçu des techniques de lithographie avancées, tels qu'elles sont utilisées dans l'industrie aujourd'hui, tels qu'elles le seront peut être demain.

Contenu(s)

• Introduction à la lithographie (définitions, objectifs, classifications, enjeux)
• Lithographie optique (étapes, systèmes d'exposition et d'alignement, optique pour la lithographie, techniques d'amélioration de la résolution, lithographie en immersion, lithographie extreme-UV…)
• Introduction aux nouvelles techniques de lithographie (e-beam, nano-imprint)

quelques notions de technologie microélectronique