Physics of technological processes - WPMSPPT7

Informations générales

  • Volumes horaires

    • CM 10.0
    • Projet 0
    • TD 10.0
    • Stage 0
    • TP 0

    Crédits ECTS

    Crédits ECTS 3.0

Objectif(s)

L’objectif du cours est de décrire la filière de fabrication en micro- et nano-technologies.

Contact Benoit BOULANGER, Fabien VOLPI, Lionel BASTARD

Contenu(s)

Cours/TD
Après une présentation générale du contexte industriel, les étapes technologiques sont revues une à une (nettoyage, dépôt de film mince, photolithographie, gravure, implantation ionique). Les forces et faiblesses des différentes techniques sont discutées, au regard de la physico-chimie des processus impliqués. Au final, un composant est fabriqué virtuellement sous forme de TD.



Prérequis

Physique des semiconducteurs
Sciences des matériaux des films minces
Techniques d'élaboration de films minces

Contrôle des connaissances

Semestre 9 - L'examen existe uniquement en anglais 

Examen écrit de 2h00.
Tous documents papier distribués pour le cours et les notes manuscrites sont autorisés.
Calculatrice autorisée.
Le sujet de l'examen est disponible en français et anglais, et l'étudiant peut rédiger ses réponses en français ou anglais.



Informations complémentaires

Semestre 9 - Le cours est donné uniquement en anglais EN

Cursus ingénieur->Double-Diplômes Ingénieur/Master->Semestre 9
Cursus ingénieur->Masters->Semestre 9

Bibliographie

A full course handout in English is available.