Volumes horaires
- CM 7.0
- Projet 0
- TD 7.0
- Stage 0
- TP 0
- DS 0
Crédits ECTS
Crédits ECTS 1.5
Objectif(s)
Les dispositifs microélectroniques sont réalisés par dépôts successifs de films minces. Ce cours présente les relations entre procédés, microstructures et propriétés de ces films.
Contact Fabien VOLPIContenu(s)
Notions de base d’élaboration de couches minces :
-Introduction aux relations procédés / matériaux / propriétés
-Quel impact des grandeurs physiques, chimiques et thermodynamiques sur les mécanismes d’élaboration (nature des surfaces, énergies de surfaces et interfaces, mouillabilité,...)
-Quel lien entre les grandeurs effectivement modulables par l’expérimentateur et le film élaboré
-Mécanique des films minces, contraintes résiduelles (pourquoi , comment les mesurer, utilité ,...)
Evolutions microstructurales des films minces sous contrainte mécanique (voids, hillocks et wiskers)
Contraintes dans les semiconducteurs (anisotropie des contraintes, épitaxie, couches dopées,...)
Prérequis
Contrôle des connaissances
Semestre 8 - L'examen existe en français et en anglais 
Présentiel : Examen écrit (2h)/ Documents de cours et calculatrice autorisés.
Distanciel : Examen écrit (2h + 30min pour la gestion à distance). Documents de cours et calculatrice autorisés. Sujet à télécharger sur Chamilo - Surveillance par webcam via Zoom - Copie à scanner, transformer en pdf et charger sur chamilo. En cas de problème envoi du fichier par un autre service.
Examen écrit 100%
Informations complémentaires
Le cours vaut 1.5 ECTS pour les étudiants du cursus UE 7 Matériaux appliqués S8
Le cours vaut 2.0 ECTS pour les étudiants du cursus UE Aspects fond de science mat 2
Le cours vaut 1.0 ECTS pour les étudiants du cursus UE Matériaux et Procédés
Le cours vaut 2.0 ECTS pour les étudiants du cursus UE Outils de modélisation et appli
Semestre 8 - Le cours est donné en français et en anglais Cursus ingénieur->Filières->Semestre 8
Cursus ingénieur->Apprentissage MEP->Semestre 8
Cursus ingénieur->Cursus Internationaux->Semestre 8